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晶圆烘烤箱

关注:人  发布时间:2018-11-18
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图纸简介

本实用新型的目的是提供一种晶圆烘烤系统,可以使得热处理过程中热板的温度分布均匀。本实用新型提供的技术方案如下:一种晶圆烘烤系统,包括:机台,加热装置,若干热板,设置在所述机台上,所述加热装置为所述热板加热, 若干温度传感器,布设在每个所述热板上测温,每个热板上至少设置一个温度传感器; 对中装置以及控制装置,根据所述减法器获得的温度差,调节所述加热装置为热板加热,以使所述热板之间的温度差不超过第一设定值。

发布作者: wty3000000 图纸格式: sldasm、sldprt 图纸版本: solidworks2015
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图纸发布者
1.本人从事机械设计工作10年,从事过多种机械产品设计,精通机械传动,熟悉液压、气压系统。 2..本人擅长有限元分析、力学理论计算和运动仿真分析,曾负责大型游乐设备(摩天轮、海盗船、大摆锤、水滑梯)报审计算书编制。
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